| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR PRODUCING A COMPONENT WITH A MOBILE STRUCTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1456116(A1) |
申请公布日期 |
2004.09.15 |
| 申请号 |
EP20020795183 |
申请日期 |
2002.12.12 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
BARZEN, STEFAN;DEHE, ALFONS |
| 分类号 |
B81C1/00;H01L21/301;(IPC1-7):B81C1/00;B81B3/00 |
主分类号 |
B81C1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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