频率分裂氦－氖激光回馈自混合非接触测微仪

摘要

频率分裂氦-氖激光回馈自混合非接触测微仪，涉及一种氦-氖激光回馈效应自混合干涉仪的结构设计。本发明包括氦-氖激光器光源、光电探测及信号处理单元、含有回馈光路的回馈腔以及带有反射面的被测物体，所述光源采用频率分裂氦-氖激光器光源，该光源由氦-氖激光放电管、设置在激光放电管一端的腔镜和另一端的输出腔镜以及可在激光腔内产生双折射效应的双折射元件组成；并在信号处理单元中设有一个门槛电平。本发明有效解决了激光回馈自混合非接触测位仪不能判向、不能细分和与被测物体之间定位困难的问题，可在位移测量、振动测量、定位等领域具有重要作用。该测微仪结构简单，造价低，测量范围大，分辨率可达1/16。

主权项

1.一种激光回馈自混合非接触测微仪，包括氦-氖激光器光源、光电探测及信号处理单元、含有回馈光路的回馈腔以及带有反射面的被测物体，其特征在于：所述氦-氖激光器光源采用频率分裂氦-氖激光器光源，该光源由氦-氖激光放电管、设置在激光放电管一端的腔镜和另一端的输出腔镜以及可在激光腔内产生双折射效应的双折射元件组成；所述的信号处理单元还设有一个门槛电平。