制造薄膜致动的反射镜阵列的方法

摘要

制造M×N块薄膜致动的反射镜的阵列的方法，包括：制备一有源矩阵；淀积一钝化层及一蚀刻剂阻挡层；淀积一薄膜待除层；建立M×N对空的空腔的阵列及一连续的待除区，从而形成组合层；构成M×N个致动的反射镜结构的阵列，各该结构包含第一薄膜电极、薄膜电致位移件、第二薄膜电极、弹性件；及清除薄膜待除层，从而构成M×N块薄膜致动的反射镜的阵列。由于等切割位于连续的待除区上方，在清除待除区时不会影响钝化层及有源矩阵。

主权项

1、一种用于制造供在光学投影系统中使用的M×N块薄膜致动的反射镜的阵列的方法，其中M与N为整数，该方法包括下述步骤：制备包含一块基板及M×N个连接端的一个阵列的一个有源矩阵；在该有源矩阵顶上相继淀积一个蚀刻剂阻挡层及一个薄膜待除层；在薄膜待除层中形成M×N对空的空腔的一个阵列及一个连续的待除区，从而形成一个组合层；在组合层顶上淀积由绝缘材料制成的一个弹性层，各空的空腔中填充绝缘材料；在弹性层顶上淀积一个第二薄膜层；以下述方式将第二薄膜层等切割成M×N个第二薄膜电极的一个阵列，即各第二薄膜电极互相电隔离，并且等切割位于连续的待除区的上方；淀积一个薄膜电致位移层及一个第一薄膜层，从而构成一个多层结构；形成M×N个导线管的一个阵列；将多层结构制成M×N个致动的反射镜结构的一个阵列，直到暴露连续的待除区为止，其方式为各致动的反射镜结构包含一个第一薄膜电极、一个薄膜电致位移件、一个第二薄膜电极及一个弹性件；以及清除连续的待除区，从而构成M×N块薄膜致动的反射镜的阵列。