| 发明名称 |
Method of and apparatus for dynamic alignment of substrates |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1102311(A3) |
申请公布日期 |
2004.09.15 |
| 申请号 |
EP20000310351 |
申请日期 |
2000.11.22 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORPORATION |
发明人 |
MOORING, BENJAMIN W.;FREUND, CHARLES W. |
| 分类号 |
B25J9/06;G05B19/401;G05B19/408;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
B25J9/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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