| 发明名称 |
CLEANING SHEET AND PROCESS FOR CLEANING SUBSTRATE TREATMENT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1456342(A1) |
申请公布日期 |
2004.09.15 |
| 申请号 |
EP20020778025 |
申请日期 |
2002.10.31 |
| 申请人 |
NITTO DENKO CORPORATION |
发明人 |
TERADA, YOSHIO;NAMIKAWA, MAKOTO |
| 分类号 |
B08B7/00;C11D3/37;C11D17/04;(IPC1-7):C11D17/04 |
主分类号 |
B08B7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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