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发明名称 GASEINSPRITZSYSTEM FÜR HALBLEITERHERSTELLUNG
摘要
申请公布号 AT275213(T) 申请公布日期 2004.09.15
申请号 AT19960936631T 申请日期 1996.10.18
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 YOUNG, LYDIA, J.;MATTHIESEN, RICHARD, H.;SELISTER, SIMON;VAN OS, RON
分类号 C23C16/44;C23C16/455;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):C23C16/00 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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