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发明名称 MICROMANUPULATOR INCLUDING PIEZOELECTRIC BENDERS
摘要
申请公布号 EP1455990(A1) 申请公布日期 2004.09.15
申请号 EP20020781360 申请日期 2002.11.29
申请人 CHIP-MAN TECHNOLOGIES OY 发明人 KALLIO, PASI;ZHOU, QUAN;NOVOTNY, MAREK;KOIVO, HEIKKI;KUNCOVA, JOHANA;RONKANEN, PEKKA;TURUNEN, JUHA
分类号 G02B21/32;B25J7/00;H01L41/09;(IPC1-7):B25J7/00;H02N2/02 主分类号 G02B21/32
代理机构 代理人
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