一种掠发射X射线荧光分析用样品制备装置

摘要

一种掠发射X射线荧光分析用样品制备装置，属于X射线荧光分析应用技术领域中的一种荧光分析用样品的制备装置。本发明要解决的技术问题是：使被待测分析物质产生高温等离子体，高速喷发沉积在透明待测物载物片上，形成待测样品，解决技术问题的技术方案是：采用脉冲宽度足够窄的激光器作光源，选择非球面聚光镜聚焦激光能量，待测物的载台沿光轴方向可调，待测物的所在环境为真空室。该装置是由窄脉宽激光光源、聚光镜、样品盒、调整鼓轮、螺纹副、待测物载台、待测物、透明待测物载物片、真空室等部分组成的。该装置制备分析样品工艺过程简单、快捷、样品纯度高、质量好，适于X射线荧光分析。

主权项

1、一种掠发射X射线荧光分析用样品制备装置，包括待测物和待测物载物片，其特征在于该装置还包括窄脉宽激光光源(1)、非球面聚光镜(2)、样品盒(3)、观察窗(4)、进气口(5)、调整鼓轮(6)、螺纹副(7)、真空接口(8)、待测物载台(9)、真空室(12)；在窄脉宽激光光源(1)的光的传播方向上，在光轴上依次排列放置非球面聚光镜(2)、样品盒(3)、透明待测物载物片(11)、待测物(10)、待测物载台(9)、螺纹副(7)、调整鼓轮(6)；透明待测物载物片(11)放置在样品盒(3)内，透明待测物载物片(11)的面和待测物(10)的面平行且垂直于光轴，待测物载台(9)与螺纹副(7)的一端刚性固连，螺纹副(7)的另一端穿过真空室(12)的底部与调整鼓轮(6)刚性固连，螺纹副(7)与真空室(12)的接触部位密封连接，转动调整鼓轮(6)，放在待测物载台(9)上的待测物(10)沿光轴线上、下移动，使待测物(10)的上表面处于非球面聚光镜(2)的焦面位置上，真空室(12)的顶盖与样品盒(3)的两侧壁密封固连，在真空室(12)的右侧壁上设有观察窗(4)、进气口(5)、左侧壁上设有真空接口(8)。