射频离子源

摘要

在空气压力范围内适合低功率工作的射频离子源，该离子源包含放电电极，一个阴极和一个阳极，该阴极通过相关的连接装置连接到射频信号源，调节该阳极以提供等离子放电可能发生的表面区域，该区域不大于放电可能发生的阴极区域。该阳极和阴极被做成相对另一个是可操纵的，以便减少系统的功率需求，并提供控制射频放电和电离的手段。扩展射频电离源，包含一组电极对，为不同环境下的使用提供灵活性。

主权项

1.射频离子源，该离子源包含拥有一个阴极和一个阳极的一对放电电极，该阳极用于提供等离子放电可能发生的表面区域，该区域基本不大于放电可能发生的阴极区域，以及可操作地连接到阴极以连接阴极和射频信号源的连接装置，其中该离子源还包含操纵一个或两个电极以调整电极间隔，使得在工作中可控制等离子放电的装置。