SYSTEM FOR THE MANUFACTURE OF ELECTRIC AND INTEGRATED CIRCUITS,申请号EP20020806025-传众专利搜索

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发明名称	SYSTEM FOR THE MANUFACTURE OF ELECTRIC AND INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号	EP1457099(A1)	申请公布日期	2004.09.15
申请号	EP20020806025	申请日期	2002.12.23
申请人	FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZURFOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.	发明人	KOENIG, MARTIN;BOCK, KARLHEINZ
分类号	H01L21/768;H05K1/00;H05K3/02;H05K3/04;H05K3/10;H05K3/12;H05K3/20;(IPC1-7):H05K3/04;H01L21/48	主分类号	H01L21/768
代理机构		代理人
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