采用水平极化声波模式的谐振式水晶压力传感器

摘要

采用水平极化声波模式的谐振式水晶压力传感器，它涉及一种谐振式水晶压力传感器。它包含水平极化切变波的水晶压敏元件(1)、弹性的悬臂梁(6)、底座(10)、波纹片(15)、传力杆(8)，波纹片(15)安装在底座(10)下端的压力接口(10-1)外侧，悬臂梁(6)的一端与底座(10)固定连接，悬臂梁(6)的另一端与传力杆(8)的一端固定连接，传力杆(8)的另一端与波纹片(15)固定连接，两个水晶压敏元件(1)分别安装在悬臂梁(6)上，两个水晶压敏元件(1)分别经导线连接接线端子(3)。该传感器具有压力灵敏度高、分辨率好、温度稳定性优良、长期稳定性佳、对晶体加工表面要求不苛刻、耐灰尘、抗污染、过载能力强的特点。

主权项

1、采用水平极化声波模式的谐振式水晶压力传感器，它包含弹性的悬臂梁(6)、底座(10)、波纹片(15)、传力杆(8)，波纹片(15)安装在底座(10)下端的压力接口(10-1)外侧，悬臂梁(6)的一端与底座(10)固定连接，悬臂梁(6)的另一端与传力杆(8)的上端固定连接，传力杆(8)的下端与波纹片(15)固定连接，其特征在于它还包含水平极化切变波的水晶压敏元件(1)、两个水晶压敏元件(1)分别安装在悬臂梁(6)上，两个水晶压敏元件(1)分别经导线连接接线端子(3)，水晶压敏元件(1)由经研磨抛光的水晶片(1-1)和光刻在水晶片(1-1)上面的产生水平极化切变波的金属发射叉指换能器(1-2)和接收换能器(1-3)、降低插入损耗的能阱金属栅阵(1-4)、金属反射栅阵(1-5)和金属汇流条(1-7)组成，水晶片(1-1)的左右两边为刀刃形，水晶片(1-1)的切型是YZL(-48°～-51°)水晶切型。