热伏电源式固态开关

摘要

一种热伏电源式固态开关，包括：一单晶硅基片，一MOS场效应晶体管，其栅极接受信号而控制输出端的负载；一热垫，以微加工技术制作于硅基片的局部区域；一薄膜加热电阻，制作于该热垫片上，作为开关的输入端；一热电堆，利用p-n接合结的半导体薄膜热电偶串联所形成，热电堆的输出端作为MOS晶体管开关元件的输入端；由输入端施以偏压，MOS场效应晶体管为导通状态；输入端不再施以偏压时，MOS场效应晶体管开关回复断路状态。

主权项

1、一种热伏电源式固态开关，包括：一单晶硅基片；其特征在于：还包括：一MOS场效应晶体管，其栅极接受信号而控制输出端的负载；一热垫，以微切削加工技术制作于硅基片的局部区域；一薄膜加热电阻，制作于该热垫片上，作为开关的输入端；一热电堆，利用p-n接合结的半导体薄膜热电偶串联所形成，该等热电偶的热接点位于热垫上，且邻近于薄膜加热电阻处，并具有足够的电绝缘强度的间距，其冷接点则远离热垫的基片区，而恒温于基片，该热电堆的输出端作为MOS晶体管开关元件的输入端；由输入端施以偏压，使加热电阻产生焦耳热时，热电堆的冷热接点间由不均匀的热分布产生适当温差，并在热电堆的两端感应一热电动势，此电动势足以使其衔接的MOS场效应晶体管触发而成导通状态；输入端不再施以偏压时，热电堆的冷热接点回复相同温度，使热电堆的感应电动势消失，MOS场效应晶体管开关回复断路状态。