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发明名称 SUSCEPTOR FOR EPITAXIAL GROWTH
摘要
申请公布号 EP1456871(A1) 申请公布日期 2004.09.15
申请号 EP20020795973 申请日期 2002.12.23
申请人 SUMCO CORPORATION;ISHIBASHI, MASAYUKI;KRUEGER, JOHN F.;DOHI, TAKAYUKI;HORIE, DAIZO;FUJIKAWA, TAKASHI 发明人 ISHIBASHI, MASAYUKI;KRUEGER, JOHN F.;DOHI, TAKAYUKI;HORIE, DAIZO;FUJIKAWA, TAKASHI
分类号 H01L21/205;H01L21/687;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C30B25/12;C30B29/06;H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20;C23C16/00 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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