离子溅射泵

摘要

本发明提供一种外部烘焙时热能损耗小而且无需耐热性磁铁，使用通常所用磁铁在每次外部烘焙时也不必取下的离子溅射泵。其特征是在内装阴极1，2和阳极3的泵壳4与永磁铁的N极15，S极16之间有空气层18，18’，用以在外部烘焙时抑制永磁铁5，6温度上升。或者在泵壳与永磁铁5、6之间夹有隔热材料。

主权项

1.一种离子溅射泵，它配备有内装阴极与阳极的泵壳和安装在该泵壳的外壁上使该泵壳内形成磁场的磁铁，并利用在真空条件下在上述磁场中的直流放电，其特征在于：使借助于在上述磁铁的与上述泵壳相对的面上设置的突起或者借助于插入上述磁铁与上述泵壳之间的隔板而形成的空气层作为隔热层夹在上述泵壳与上述磁铁之间。