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发明名称
摘要
申请公布号	JP3564541(B2)	申请公布日期	2004.09.15
申请号	JP20010331629	申请日期	2001.10.29
申请人		发明人
分类号	B22F1/00;B22F3/14;B22F3/15;H01L35/18;H01L35/34;(IPC1-7):H01L35/34	主分类号	B22F1/00
代理机构		代理人
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