| 发明名称 |
CATHODE POUR PULVERISATION SOUS VIDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2842348(B1) |
申请公布日期 |
2004.09.10 |
| 申请号 |
FR20020008869 |
申请日期 |
2002.07.10 |
| 申请人 |
TECMACHINE |
发明人 |
AULAGNER MICHEL;LABALME LIONEL |
| 分类号 |
C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34;H01J37/04 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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