METHOD AND CIRCUIT FOR OPERATING A THERMAL CONDUCTIVITY DETECTOR

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren and eine Schaltung zur Verbesserung der Nachweisgrenze eines für die Mikrotechnik bestimmten Wärmeleitfähigkeitsdetektors (1). Um das zu erreichen, wird der Wärmeleitfahigkeitsdetektor (1), der mit einer Heizung (2) and einem Sensor (11) versehen ist, dynamisch and/oder statisch betrieben. Die Heizung (2) and der Sensor (11) werden dabei von einem zu untersuchenden Medium (10) vollständig umgeben. Die Heizung (2) wird mit einem periodischen Strom beaufschlagt. Durch die Temperaturmodulation der Heizung (2) wird in Abhängigkeit von der Wärmeleitfähigkeit and der thermischen Diffusionslänge des zu untersuchenden Mediums (10) eine Modulation der Temperatur des Sensors (11) bewirkt. Mit Hilfe einer Schaltung (15) wird die Phasenverschiebung zwischen dem vom Sensor (11) erfassten Messsignal and dem Modulationssignal der Heizung (2) ermittelt. Aus der Phasenverschiebung wird die thermische Diffusionslänge (µ) bestimmt, wahrend die Wärmeleitfähigkeit des Mediums (10) aus der Modulationsamplitude ermittelt wird.