发明名称 MICHELSON INTERFEROMETER
摘要 <p>Ein Michelson-Interferometer weist einen Strahlteiler auf, der ein von einer Strahlungsquelle kommendes Strahlenbündel in zwei Teilbündel aufteilt und diese nach Durchlaufen von zwei Strahlungswegen zu einem neuen Strahlenbündel zur weiteren Verarbeitung vereinigt. Zwei Umlenkspiegel reflektieren die von dem Strahlteiler kommenden Teilbündel in unterschiedliche Teilbereiche eines rotierenden Retroreflektors, dessen Rotationsachse gegenüber seinem Tripelpunkt seitlich versetzt ist. Zwei Planspiegel spiegeln die von dem Retroreflektor reflektierten Teilbündel senkrecht zu diesem wieder zurück. Um einen vereinfachten Aufbau und eine hohe Genauigkeit des Interferometers zu erreichen, sind zwei gleiche Prismenkörper (29, 30) mit jeweils einer ersten, zweiten, dritten und vierten planen Fläche (31 bis 38) vorgesehen, die an ihren ersten Flächen (31, 32) unter Bildung des Strahlteilers (8) spiegelsymmetrisch aneinander liegen, deren zweite Flächen (33, 34) die Umlenkspiegel (10, 12) bilden, deren dritte Flächen (35, 36) senkrecht zu den Strahlenbündeln (7 bzw. 20) liegen und deren vierte Flächen (37, 38) senkrecht zu den jeweiligen, von den Umlenkspiegeln (10, 12) in Richtung zu dem Retroreflektor (14) reflektierten Teilbündeln (9, 11) liegen.</p>
申请公布号 WO2004076998(A1) 申请公布日期 2004.09.10
申请号 WO2004EP01696 申请日期 2004.02.20
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT;KORN, ALEXANDER 发明人 KORN, ALEXANDER
分类号 G01J3/453;(IPC1-7):G01J3/453 主分类号 G01J3/453
代理机构 代理人
主权项
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