| 发明名称 |
Micromachined assembly with a multi-layer cap defining cavity |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2004216038(A1) |
申请公布日期 |
2004.09.10 |
| 申请号 |
AU20040216038 |
申请日期 |
2004.02.25 |
| 申请人 |
IC MECHANICS, INC. |
发明人 |
RICHARD L. CARLEY;SURESH SANTHANAM |
| 分类号 |
B81B7/02;H01L;H01L21/00;(IPC1-7):B81B7/02 |
主分类号 |
B81B7/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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