| 发明名称 |
CARRIER HEAD FOR CHEMICAL MECHANICAL POLISHING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002353628(A1) |
申请公布日期 |
2004.09.09 |
| 申请号 |
AU20020353628 |
申请日期 |
2002.11.21 |
| 申请人 |
SEMICONTECH CORPORATION;JUNG, TAEK-SOO |
发明人 |
TAEK-SOO JUNG |
| 分类号 |
H01L21/304;B24B1/00;B24B37/04;B24B41/06;H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/302 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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