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发明名称
Verfahren zur Schwingungswellenfeststellung und Schwingungswellendetektor
摘要
申请公布号
DE69825363(D1)
申请公布日期
2004.09.09
申请号
DE1998625363
申请日期
1998.05.22
申请人
TOKYO ELECTRON LTD., TOKIO/TOKYO
发明人
ANDO, SHIGERU;MIYANO, TAKAYA;MATSUMOTO, TOSHIYUKI;HARADA, MUNEO
分类号
B81B3/00;G01H3/08;G01H11/06;G10L15/28;(IPC1-7):G01H3/08
主分类号
B81B3/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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