摘要 |
Es werden Systeme und Verfahren zum optischen Scannen mehrerer Objektebenen geschaffen. Ein Ausführungsbeispiel ist ein System zum optischen Scannen mehrerer Objektebenen, das eine Auflage und einen optischen Kopf zum Scannen aufweist. Der optische Kopf umfaßt ein optisches Verzögerungselement, ein erstes optisches Sensorarray, das relativ zu einem Linsenarray entlang eines optischen Wegs positioniert ist, zum Empfangen eines optischen Signals, das einer ersten Objektebene entspricht, die in einer ersten Entfernung von der Auflage angeordnet ist, und ein zweites optisches Sensorarray, das relativ zu dem Linsenarray entlang eines weiteren optischen Wegs positioniert ist, zum Empfangen eines optischen Signals, das einer zwieten Objektebene entspricht, die in einer zweiten Entfernung von der Auflage angeordnet ist. Das optische Verzögerungselement ist konfiguriert, um die effektive Entfernung zwischen dem Linsenarray und dem zweiten optischen Sensor zu erhöhen.
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