| 摘要 |
Die Erfindung beschreibt ein Verfahren zur Ermittlung eines Satzes an Gitterparametern für die Herstellung eines Beugungsgitters für ein VUV-Spektrometer, wobei der kleine und große Radius des toroidalen Gittersubstrates (rho und R), die beiden Abstände der zwei holographischen Beleuchtungspunkte vom Gitterursprung (r¶c¶ und r¶d¶), die Winkelstellung der holographischen Beleuchtungspunkte zur Gitternormalen (gamma und delta) sowie die Laserwellenlänge für die holographische Beleuchtung lambda¶L¶ als Parameter eingesetzt werden. Das erfindungsgemäße Verfahren ermittelt dabei auf numerischem, iterativem Wege für eine spezielle Aufgabenstellung jeweils optimale Gitterparameter. DOLLAR A Das Verfahren ermöglicht so vorteilhaft die Herstellung eines VUV-Spektrometers mit einem Beugungsgitter, welches beispielsweise für einen vorgegebenen Wellenlängenbereich eine minimale Linienbreite am Detektor bei hoher Etendue erzielt.
|
