摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Messung von Abmessungen von Messobjekten (M) mit einer Lichtquelle (L¶1¶, L¶2¶, L¶3¶, L¶4¶) zur Beleuchtung einer Spaltblende (D), vor oder hinter der eine Spiralschlitz-Scheibe (DS) angeordnet ist, wobei Spaltblende und Scheibe relativ zueinander drehbar sind und die Scheibe einen den Spalt der Spaltblende schneidenden Spiralschlitz (SS) aufweist, durch dessen Zusammenwirken mit dem Spalt eine Lochblende (LB) entsteht. Eine Auswerteeinrichtung, die die Zeit misst, in der die Lichtstrahlen das Messobjekt abtasten, ermittelt aus den gemessenen Zeiten Abmessungen. Um das Messobjekt gleichzeitig in verschiedenen räumlichen Ebenen oder in einer Ebene in verschiedenen Achsen abtasten zu können, sind mehrere, in Strahlrichtung gesehen, vor der Spiralschlitz-Scheibe (DS) um die Drehachse (A) radial angeordnete Spalte (D¶1¶, D¶2¶, D¶3¶, D¶4¶) in der Spaltblende (D) ausgebildet und ist für die Spalte eine gemeinsame Lichtquelle oder für jeden Spalt eine separate Lichtquelle (L¶1¶, L¶2¶, L¶3¶, L¶4¶), die Licht mit einer Wellenlänge oder mit unterschiedlichen Wellenlängen (lambda¶1¶, lambda¶2¶, lambda¶3¶, lambda¶4¶) oder mit frequenzmodulierten Amplituden aussenden, vorgesehen.
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