摘要 |
Eine Druckerfassungsvorrichtung enthält ein Halbleitersubstrat (30) zur Ausgabe eines elektrischen Signals entsprechend einem aufgebrachten Druck, welcher von einem Druckübertragungsteil (20) aufgenommen wird, das ein elektrisches Leitungsvermögen besitzt und auf der Vorderseitenoberfläche des Halbleitersubstrats (30) angeordnet ist. Das Substrat (30) und das Druckübertragungsteil (20) sind in einem Gehäuse (10) untergebracht. Ein Leitungsteil (50), welches von dem Gehäuse (10) elektrisch unabhängig ist, ist in dem Gehäuse (10) an der Rückseite des Halbleitersubstrats (30) untergebracht, und das Leitungsteil (50) und eine Elektrode des Substrats (30) sind durch ein leitendes Haftmaterial (40) miteinander elektrisch verbunden. Das Gehäuse (10) enthält vorzugsweise einen ersten Abschnitt, einen zweiten Abschnitt, welcher eine geringere thermische Leitfähigkeit als der erste Abschnitt aufweist, und einen elektrisch leitenden Trennungsabschnitt.
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