发明名称 |
Chemisches Dampfablagerunssystem |
摘要 |
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申请公布号 |
DE69917164(T2) |
申请公布日期 |
2004.09.09 |
申请号 |
DE19996017164T |
申请日期 |
1999.09.09 |
申请人 |
SAINT-GOBAIN INDUSTRIAL CERAMICS, INC. |
发明人 |
SIMPSON, MATHEW A. |
分类号 |
C23C16/27;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/513;C23C16/54;H01J37/32;H05H1/44;(IPC1-7):C23C16/50;C23C16/26 |
主分类号 |
C23C16/27 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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