发明名称 HOT PLATE UNIT
摘要
申请公布号 EP1220303(B1) 申请公布日期 2004.09.08
申请号 EP20000935530 申请日期 2000.06.02
申请人 IBIDEN CO., LTD. 发明人 FURUKAWA, MASAKAZU
分类号 H01L21/00;H05B3/14;H05B3/74;(IPC1-7):H01L21/027;H05B3/10;H05B3/68 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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