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发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER CLEANING SYSTEMS AND METHODS
摘要
申请公布号 EP1453617(A1) 申请公布日期 2004.09.08
申请号 EP20020799184 申请日期 2002.11.12
申请人 FSI INTERNATIONAL, INC. 发明人 HERBST, TIM, W.;MACIEJ, TODD;GAST, TRACY, A.;WAGENER, THOMAS, J.;SIEFERING, KEVIN, L.
分类号 H01L21/68;H01L21/683;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/673;(IPC1-7):B08B3/00 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
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