METHOD AND SYSTEM FOR MONITORING A PROCESS OF MATERIAL REMOVAL FROM THE SURFACE OF A PATTERNED STRUCTURE,申请号EP20020793283-传众专利搜索

首页产品黄页商标征信

会员服务注册登录

法人/股东/高管

发明名称	METHOD AND SYSTEM FOR MONITORING A PROCESS OF MATERIAL REMOVAL FROM THE SURFACE OF A PATTERNED STRUCTURE
摘要
申请公布号	EP1454341(A2)	申请公布日期	2004.09.08
申请号	EP20020793283	申请日期	2002.12.04
申请人	NOVA MEASURING INSTRUMENTS LIMITED	发明人	MACHAVARIANI, VLADIMIR;SCHEINER, DAVID;WEINGARTEN, AMIT;RAVID, AVI
分类号	G01N21/21;G01N21/84;G01N21/95;(IPC1-7):H01L21/00	主分类号	G01N21/21
代理机构		代理人
主权项
地址

您可能感兴趣的专利

MODIFIERAT PAPPER.

Combination structure

UNDERSOEKNINGSMODUL.

FOERFARANDE FOER FRAMSTAELLNING AV FARMAKOLOGISKT AKTIVA SULFAMOYLBENSOESYRADERIVAT.

FOERFARANDE OCH ANORDNING FOER TILLVERKNING AV MINERALULL.

FOERFARANDE FOER FRAMSTAELLNING AV ALDOSREDUKTAS INHIBEARS 5-(2-ALKOXI-3-SUBSTITUERAD FENYL)HYDANTOINER.

AVLUFTSANORDNING.

BK-VALS MED UPPVAERMD MANTEL.

KOMPOSITMATERIAL BESTAOENDE AV ETT SUBSTRAT OCH EN BELAEGGNING SOM AER BASERAD PAO EN POLYMERKOMPOSITION SAMT FRAMSTAELLNINGSFOERFARANDE AV KOMPOSITMATERIALET.

FOERFARANDE OCH ANORDNING FOER OEVERFOERING OCH ANVAENDNING AV KUNSKAP I ETT EXPERTSYSTEM.

FOERFARANDE FOER FRAMSTAELLNING AV EN ELLEDANDE POLYMER.

Heat accumulating and heat-equalizing stone, plate or element

SKIVFORMIG DISPLAYKONSTRUKTION, I SYNNERHET ELEKTROLUMINENSDISPLAYKONSTRUKTION.

FARMACEUTISKE FORMULERINGER

FREMGANGSMAADE TIL MAALING AF SULFATEREDE ANIONISKE POLYOSIDER OG UDSTYR TIL UDFOERELSE AF FREMGANGSMAADEN

VAEGKONSTRUKTION TIL VAADE RUM

GROUPE DE TRANSMISSION COMPACT A BOITE DE VITESSES AUTOMATIQUES.

PAPIER COUCHE, CARTON COUCHE, OU AUTRE PRODUIT SIMILAIRE ET METHODE ET APPAREILLAGE POUR LEUR PRODUCTION

ANTENNA TERMINAL BOARD