层压装置以及层压方法

摘要

一种层压装置以及层压方法，层压装置包括基板运送机构。基板运送机构具有上下一对薄膜传送带(7、8)。一对薄膜传送带(7、8)，将在表面保持有薄膜状材料的基板8保持在其间并可沿长方向移动。一对薄膜传送带(7、8)，通过边受到延长方向的张力边移动，而将基板8相对于压制部运入以及运出。层压装置，包括用于在压制部挟持基板并加压的上侧以及下侧加压块(10、11)。在各上侧以及下侧加压块(10、11)上，具有用于向一对薄膜传送带(7、8)施加沿横方向的张力的张力施加机构(24、25)。这种层压装置，使运送基板的薄膜传送带的纵向皱折不妨碍基板上的薄膜状材料的平整度。

主权项

1.一种层压装置，是用于在基板上层压、埋入薄膜状材料或对基板上的薄膜状材料实行平坦化的层压装置，其特征在于，具有：压制部；基板运送机构，具有被形成为上下一对薄膜传送带的、将在表面保持有薄膜状材料的基板保持在其间并可沿长方向移动的上下一对薄膜传送带，用于通过使该一对薄膜传送带边受到沿长方向的张力边移动而使所述基板相对于所述压制部运入以及运出；上侧以及下侧加压块，其为了夹持住被所述基板运送机构运入的基板并加压而设置在所述压制部；张力施加机构，其用于至少在所述压制部向所述一对薄膜传送带施加横方向的张力。