发明名称 |
大口径光学元件损伤在线检测装置 |
摘要 |
一种大口径光学元件损伤在线检测装置,包括照明光路、损伤信号接收光路、扫描系统和图像处理系统,其特点是:采用激光照明光路,由激光光源、照明平行光管和分光镜构成;所述的损伤信号接收光路上依此设置有分光镜、接收平行光管,在接收平行光管之后同时接设有观察目镜和CCD摄像机;激光照明光路的光轴与损伤信号接收光路的光轴相互垂直,且均与分光镜的表面成45°,通过分光镜后激光照明光路和损伤信号接收光路共光轴;扫描系统由第一扫描反射镜和第二扫描反射镜组成;所述的CCD摄像机和计算机组成图像处理系统。本实用新型的优点是操作简单、检测效率高、检测可靠性高,既可目视观测,又可用CCD摄像机采集图像,可以准确地得出损伤点的尺寸和位置。 |
申请公布号 |
CN2639880Y |
申请公布日期 |
2004.09.08 |
申请号 |
CN03232286.0 |
申请日期 |
2003.06.18 |
申请人 |
中国科学院上海光学精密机械研究所 |
发明人 |
任冰强;黄惠杰;张维新;赵永凯;刘丹;韩广礼;杜龙龙;王树森;路敦武 |
分类号 |
G01N21/88;G01N21/47 |
主分类号 |
G01N21/88 |
代理机构 |
上海新天专利代理有限公司 |
代理人 |
张泽纯 |
主权项 |
1、一种大口径光学元件损伤在线检测装置,包括照明光路、损伤信号接收光路、扫描系统和图像处理系统,其特征在于:所述的照明光路是激光照明光路,包括激光光源(4),沿激光光源(4)发出的光束前进方向上,依次设置有照明平行光管(5)、分光镜(6),然后进入扫描系统:所述的损伤信号接收光路上依此设置有分光镜(6)、接收平行光管(9),在接收平行光管(9)之后同时接设有观察目镜(10)和CCD摄像机(11);所述的激光照明光路的光轴与损伤信号接收光路的光轴相互垂直,且均与分光镜(6)的表面成45°,通过分光镜(6)后激光照明光路和损伤信号接收光路共光轴;扫描系统由第一扫描反射镜(7)和第二扫描反射镜(8)组成;所述的CCD摄像机(11)和计算机(12)组成图像处理系统。 |
地址 |
201800上海市800-211邮政信箱 |