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发明名称 Collar etch method for DRAM cell
摘要
申请公布号 EP0821409(A3) 申请公布日期 2004.09.08
申请号 EP19970480044 申请日期 1997.07.15
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CORONEL, PHILIPPE;MACCAGNAN, RENZO
分类号 H01L21/8242;(IPC1-7):H01L21/824;H01L21/311 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
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