洗净装置及洗净方法

摘要

一种洗净装置及其洗净方法，在可得到真空状态的真空容器1中包括：具有贮留洗净液(5)的贮槽部(6a)、在该贮槽部(6a)中收容被洗净物(3)的洗净槽(5)；以及内部具有所定空间(7a)、向洗净液(5)施加超声波振动的超声波振动子单元(7)，超声波振动子单元(7)的所定空间(7a)从吸入口(10a)经由止回阀(11)向洗净用真空容器(1)内开口。由此，提供一种可抑止主要构件内外及其这些构件相互间的压力差，不用特意采取措施即可容易地维持气密性，并且即使在使用了可燃性的洗净液的场合对防止火灾和爆炸的安全性也优良的真空超声波方式的洗净装置。

主权项

1.一种洗净装置，为一种向置于真空下的洗净液施加超声波振动、对浸渍于所述洗净液中的被洗净物进行洗净的装置，其特征在于，在可得到真空状态的洗净用真空容器中具有：贮留所述洗净液、收容所述被洗净物的洗净槽；以及内部具有所定空间、向所述洗净液施加超声波振动的振动体，所述振动体的所定空间向所述洗净用真空容器内开口。