ELECTROLYTIC PROCESSING APPARATUS AND METHOD,申请号EP20020788797-传众专利搜索

发明名称	ELECTROLYTIC PROCESSING APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号	EP1453991(A1)	申请公布日期	2004.09.08
申请号	EP20020788797	申请日期	2002.12.11
申请人	EBARA CORPORATION	发明人	SHIRAKASHI, MITSUHIKO;KUMEKAWA, MASAYUKI;YASUDA, HOZUMI;KOBATA, ITSUKI
分类号	B23H3/02;B23H5/08;C25F3/00;C25F7/00;H01L21/321;(IPC1-7):C25F3/00;H01L21/306	主分类号	B23H3/02
代理机构		代理人
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