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发明名称 WAFER ENCLOSURE SEALING ARRANGEMENT FOR WAFER CONTAINERS
摘要
申请公布号 EP1453741(A1) 申请公布日期 2004.09.08
申请号 EP20020780679 申请日期 2002.11.13
申请人 ENTEGRIS, INC. 发明人 EGGUM, SHAWN, D.
分类号 B65D53/02;B65D43/04;F16J15/02;F16J15/06;H01L21/673;(IPC1-7):B65D53/00;B65D41/14;B65D45/00;B65D85/00;B65D85/48;F16J15/14;F16L21/025;F16L17/03;F16L17/025;F16L15/02 主分类号 B65D53/02
代理机构 代理人
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