Semiconductor substrate and process for producing same,申请号EP19980302187-传众专利搜索

发明名称	Semiconductor substrate and process for producing same
摘要
申请公布号	EP0867919(B1)	申请公布日期	2004.09.08
申请号	EP19980302187	申请日期	1998.03.24
申请人	CANON KABUSHIKI KAISHA	发明人	OHMI, KAZUAKI;YONEHARA, TAKAO;SAKAGUCHI, KIYOFUMI
分类号	H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20;H01L27/12;H01L21/762	主分类号	H01L21/20
代理机构		代理人
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