| 发明名称 | 多晶硅薄膜、其制法以及用该膜制造的薄膜晶体管 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种用于显示器设备的多晶硅薄膜，该薄膜具有彼此不平行的相邻主晶粒间界，其中被主晶粒间界包围的面积大于1μm<SUP>2</SUP>，还公开了一种多晶硅薄膜的制造方法，以及用该方法制造的薄膜晶体管。 | ||
| 申请公布号 | CN1527405A | 申请公布日期 | 2004.09.08 |
| 申请号 | CN200410003656.5 | 申请日期 | 2004.02.05 |
| 申请人 | 三星SDI株式会社 | 发明人 | 朴志容;朴惠香 |
| 分类号 | H01L29/786;H01L21/00;H05B33/00 | 主分类号 | H01L29/786 |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 范明娥;张平元 |
| 主权项 | 1.一种用于显示器设备的多晶硅薄膜，该薄膜包括彼此不平行的相邻主晶粒间界，其中被主晶粒间界包围的面积大于1μm2。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||