带凹槽的溅射靶

摘要

此方法制造了溅射靶组件(30)。其首先包括制造靶芯(10)的步骤。靶芯(10)具有屈服强度、直径、高度、平坦的顶面和圆锥状的底面(12)。接着制造背板(20)。背板(20)具有与靶芯(10)直径一致的圆柱形凹槽(22)。圆柱形凹槽(22)的深度小于靶芯(10)的高度，其屈服强度也小于靶芯(10)的屈服强度。最后，将靶芯(10)压入背板(20)的圆柱形凹槽(22)，以将靶芯(10)结合到背板(20)上，从而形成靶组件(30)。压制的靶组件(30)包括带有圆锥形底面(12)的靶芯(10)。

主权项

1.一种制造溅射靶组件(30)的方法，其包括以下步骤：a)制造一靶芯(10)，其具有屈服强度、直径、高度、平坦的顶面和圆锥状的底面(12)；b)制造一个背板(20)，背板(20)具有与靶芯(10)直径一致的圆柱形凹槽(22)，圆柱形凹槽(22)的深度小于靶芯(10)的高度，其屈服强度小于靶芯(10)的屈服强度；和c)将靶芯(10)压入背板(20)的圆柱形凹槽(22)，以将靶芯(10)结合到背板(20)上，从而形成靶组件(30)，靶组件(30)包括带有圆锥形底面(12)的靶芯(10)。