发明名称
摘要
申请公布号 JP3564039(B2) 申请公布日期 2004.09.08
申请号 JP20000124263 申请日期 2000.04.25
申请人 发明人
分类号 H01L21/76;H01L21/762;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/76;H01L21/823 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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