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发明名称
摘要
申请公布号
JP3563880(B2)
申请公布日期
2004.09.08
申请号
JP19960182100
申请日期
1996.07.11
申请人
发明人
分类号
H01L29/84;B81C1/00;B81C3/00;H01L21/3063;(IPC1-7):H01L29/84;H01L21/306
主分类号
H01L29/84
代理机构
代理人
主权项
地址
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