发明名称 Electrostatic arrangement for influencing a particle beam
摘要
申请公布号 EP0843335(B1) 申请公布日期 2004.09.08
申请号 EP19960118539 申请日期 1996.11.19
申请人 ADVANTEST CORPORATION 发明人 FROSIEN, JUERGEN, DR.;LANIO, STEFAN, DR.;SCHMITT, REINHOLD;SCHOENECKER, GERALD, DR.
分类号 G21K1/087;H01J37/12;(IPC1-7):H01J37/12 主分类号 G21K1/087
代理机构 代理人
主权项
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