发明名称 LIQUID DETERGENT FOR SEMICONDUCTOR DEVICE SUBSTRATE AND METHOD OF CLEANING
摘要
申请公布号 KR20040077805(A) 申请公布日期 2004.09.06
申请号 KR20047011547 申请日期 2003.01.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/304;C11D1/72;C11D3/02;C11D3/20;C11D11/00 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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