| 发明名称 |
Improved megasonic cleaning efficiency using auto- tuning of an rf generator at constant maximum efficiency |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003299889(A8) |
申请公布日期 |
2004.09.06 |
| 申请号 |
AU20030299889 |
申请日期 |
2003.12.23 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORPORATION |
发明人 |
ROBERT KNOP;WILLIAM THIE;JOHN BOYD;THOMAS W. ANDERSON;MICHAEL G.R. SMITH;ANDRAS KUTHI |
| 分类号 |
B06B1/02;B08B3/10;B08B3/12;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/302 |
主分类号 |
B06B1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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