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发明名称 PLASMA PRODUCTION DEVICE AND METHOD AND RF DRIVER CIRCUIT
摘要
申请公布号 KR20040076850(A) 申请公布日期 2004.09.03
申请号 KR20047005323 申请日期 2002.10.09
申请人 发明人
分类号 H01J37/32;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/3065;H01Q7/00;H01Q21/20;H05H1/46 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
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