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发明名称
ANTIREFLEXIONSBESCHICHTUNGSVERFAHREN UND -ANLAGE
摘要
申请公布号
DE60104516(D1)
申请公布日期
2004.09.02
申请号
DE20016004516
申请日期
2001.01.11
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES NORTH AMERICA CORP., SAN JOSE;INFINEON TECHNOLOGIES RICHMOND LLP, RICHMOND
发明人
ROBERTS, WILLIAM R.;STROBL, MARLENE
分类号
B05D1/34;G03F7/09;G03F7/16;H01L21/027;(IPC1-7):B05D1/34
主分类号
B05D1/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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