发明名称 ANTIREFLEXIONSBESCHICHTUNGSVERFAHREN UND -ANLAGE
摘要
申请公布号 DE60104516(D1) 申请公布日期 2004.09.02
申请号 DE20016004516 申请日期 2001.01.11
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES NORTH AMERICA CORP., SAN JOSE;INFINEON TECHNOLOGIES RICHMOND LLP, RICHMOND 发明人 ROBERTS, WILLIAM R.;STROBL, MARLENE
分类号 B05D1/34;G03F7/09;G03F7/16;H01L21/027;(IPC1-7):B05D1/34 主分类号 B05D1/34
代理机构 代理人
主权项
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