发明名称 |
Verfahren zur Herstellung eines Silizium-Einkristalles |
摘要 |
|
申请公布号 |
DE69912484(T2) |
申请公布日期 |
2004.09.02 |
申请号 |
DE19996012484T |
申请日期 |
1999.01.07 |
申请人 |
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. |
发明人 |
IINO, EIICHI |
分类号 |
C30B15/00;C30B15/36;C30B29/06;(IPC1-7):C30B15/36 |
主分类号 |
C30B15/00 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|