探测方法、探测装置及电极之还原/电浆蚀刻处理机构

摘要

本发明之探测方法具备有：利用成形气体将晶圆W的电极作还原处理的过程、以及在乾燥环境下让电极与探测针14A接触的过程。更且，在被检查体的电极P作还原处理之前，在惰性气体环境下加热被检查体。该还原处理则是藉着在常压下让还原性气体接触到被检查体之电极来实施。