选择性移除基底上所形成之负光阻上的聚亚醯胺配向层之方法以及使用电浆将其回收的方法

摘要

本发明系关于一种选择性移除玻璃基底上所形成之负光阻上的有机聚亚醯胺配向层之方法，以及使用一电浆装置将玻璃基底回收的方法，该电浆装置所具有反应室经由施加一高频功率至一电极而产生电浆。该方法包括下列步骤：将覆以有机聚亚醯胺配向层且形成有负光阻的玻璃基底置入反应室中，然后将压力维持在100～900mTorr，通入一氧气／氮气之混和气体至反应室中以维持压力，以及施加1～20千瓦之功率至电浆装置之电极上，以产生电浆，而使聚亚醯胺有机配向层选择性地被分解。