碳化矽烧结体及其制造方法

摘要

本发明之目的在提供一种碳化矽烧结体，系由其截面研磨面之碳化矽粒子及矽粒子之面积，以气孔率(％)＝(矽粒子之面积／(矽粒子之面积＋碳化矽粒之面积))×100求出之气孔率在15％以上30％以下，残留矽之含量系对碳化矽烧结体之总体积在4％以下之碳化矽烧结体。