硼掺杂钻石

摘要

一种藉由化学气相沉积法(CVD)制成之单晶硼搀杂钻石层体，其具有均一之硼搀杂浓度。该层体是形成自一个单一长晶槽，或具有一超过100μm之厚度，或具有一超过1mm^3之体积，或具有由此等特性所构成之组合。